晶圓激光刻號裝籃機

1）專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備，使用于3-6寸晶圓的軟打標或硬打標作業。

2）疊片式上料，傳送式送片，花籃式收料，自動完成疊片到裝籃過程；

3）支持OCR字符和點陣字符，全自動生產加工；

4）工業級激光器，穩定可靠，免維護；

5）光束質量好，標識精細，可讀性好；

6）操作界面友好，PLC全程控制，使用操作方便。

技術規格                        項 目                             單 位                       數 值

加工尺寸                       晶圓尺寸                         inch                      5 英寸

激光器功率                激光器出口處                       W                         20瓦

激光器波長              紅外光纖激光器                     nm                     1064納米

                                     定位精度                         mm                     0.05毫米

                                     重復精度                         mm                     0.02毫米

振鏡                          最大掃描速度                      mm/s                7000毫米/秒

                                    振鏡類型                       數字/模擬           高速數字式振鏡

專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備，使用于3-6寸晶圓的軟打標或硬打標作業。